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真空镀膜机的组成和工作原理

发表时间: 2022-09-21 15:20:25

作者: 青州市中拓镀膜机械科技有限公司

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真空镀膜机的组成和工作原理真空镀膜机是目前应用较广的制造真空条件的真空设备。一般由真空室、真空单元和电气控制柜组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷井

真空镀膜机的组成和工作原理

真空镀膜机是目前应用较广的制造真空条件的真空设备。一般由真空室、真空单元和电气控制柜组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷井+聚氯乙烯”组成。下面详细介绍一下其组成和工作原理。

  一、真空室的主体根据加工产品的要求不同,实际腔体的尺寸也不同。目前使用较多的是直径分别为1.3m、0.9m、1.5m和1.8m。腔体由不锈钢“target=_blank>材料制成,要求无锈且坚牢。真空室的每个部分都有一个连接阀来连接每个空气泵。

  二、辅助抽气系统:排气系统是涂布机真空系统的重要组成部分,主要由机械泵、增压泵(主要是罗茨泵)和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷井+聚氯乙烯”组成。排气流量如下:机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2Pa的低真空状态,为扩散泵后续抽真空提供了前提条件。然后当扩散泵抽到实腔时,将机械泵与油扩散泵组合成一个系列,从而完成泵的气动操作。

  机械泵:又称前级泵,机械泵是真空镀膜机应用较多的低真空泵。它利用油保持密封成效,依靠机械方法不断改变泵内吸入腔的体积,使泵内气体体积不断膨胀,获得真空。

  1、械泵的分类:机械泵有多种类型,常用的有四种类型:滑阀式(主要用于大型设备)、活塞往复式、固定板式和旋转板式(这是目前应用较广的,本文主要介绍)。

  2、机械泵从空气中启动。其主要参数包括极限真空度和泵速,是机械泵设计和选型的重要依据。单级泵可将容器从空气中抽至极限真空1.0*10-1pa,双级机械泵可将容器抽至6.7*10-2Pa。抽气率是指叶片泵按额定转速运转时,单位时间内可排出的空气量。计算公式如下:sth=2nvs=2nfslfs表示吸气端空腔的截面积,l表示空腔的长度,系数表示转子每转次有两个排气过程,vs表示转子处于水平位置时吸气端,而此时在腔体中的产品大,转速为n。机械泵的排气成效还与电机转速和皮带松紧度有关。当电机皮带松脱,电机转速很低时,机械泵的排气成效也会变差。因此,需要定期维护和抽查。机械泵油的密封成效也需要经常抽查。油太少,达不到密封成效。泵内空气会泄漏,油太多,堵塞吸入孔,不能吸入和排出,一般在油位线以下0.5cm处。

  3、械泵常用于抽干空气,但不能抽出含氧量高、腐蚀性较强的气体。机械泵一般用来抽干燥空气,但对水煤气没有好的成效,不能抽出水煤气。旋转叶片泵的主要部件是定子、转子、弹片等,转子在定子中,但与定子主轴不同,有两个内圆。转子槽内装有两个弹片,弹簧安装在两个弹片中间,保障弹片与定子内壁紧密连接。

  介绍到这里,你有没有对真空镀膜机的了解加深了一些呢。


真空镀膜机的组成和工作原理
真空镀膜机的组成和工作原理真空镀膜机是目前应用较广的制造真空条件的真空设备。一般由真空室、真空单元和电气控制柜组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷井
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