真空镀膜机完整组成结构

2020-03-18

  生活中,真空镀膜机应用很厂泛,真空镀膜设备种类及型号繁多,但无论何种真空镀膜设备都有一套除去被抽容器内气体的抽气系统,以便在真空容器内获得所需要的真空条件。那么其完整组成结构是怎样的呢?

  一、一个真空处理用的容器,用管道和阀[门将它与真空泵连接起来,当真空泵对容器进行抽空时,容器上要有真空测量装置,这就构成了一个简单的真空抽气系统。

  二、简单的真空系统只能在被抽容器内获得低真空范围内的真空度,当需要获得高真空范围内的真空度时,真空系统中串联一个高真空泵。当串联一个高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门,以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵,为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器,通常在油扩散泵的入口加一个捕集器一水冷障 板根据要求,还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀等等,这样就构成了一个较完善的高真空镀膜机。

  三、凡是由两个以上真空泵串联组成的,通常都把抽低真空的泵叫做它上一级高真空泵的前级泵(或称前置泵),而高一级的真空泵叫做该真空系统的主泵,即它是主要的泵,被抽容器中的限度真空度和工作真空度就由主泵明确。被抽容器出口到主泵入口之间的管路称为高真空管路,主泵入口处的阀门称为主阀。

  四、总体来说,一个较完善的真空镀膜机由下列元件组成,(1)抽气设备(2)真空阀门;(3)连接管道;(4)真空测量装置:例如真空压力表、多种规管; (5)其它元件:例如捕集器、除尘器、真空继电器规头、储气罐等。