光学镀膜机的电子枪的安装与维护

2020-04-15

  光学镀膜机主要由真空镀膜机房、真空抽气机和电气柜(控制电气柜、电子枪电气柜)组成,应用于微电子、光学成膜、民用装饰、表面工程等领域。光学镀膜设备的工作原理是利用电子束在高真空下将金属或非金属材料加热到适当的温度,然后蒸发成蒸汽分子。其平均自由程大于从蒸发源到被蒸发基质的距离。蒸发的蒸汽分子被引导到各个方向,并沉积在基底表面形成薄膜。下面讲讲关于电子枪的安装与维护的方法:

  电子枪电源控制系统由灯丝电源、高压电源、扫描电源、坩埚驱动电源、蒸发电源等组成。

  电子枪控制电气柜中的高压。工作前需要柜门各联锁装置的正常工作。非专业人员不得打开电气柜门。工作时,电子枪不得打开电气柜门。整个光学镀膜机电气柜需要接地良好,并与机器接地连接。

  电子枪的蒸汽源安装在真空室底板上,需要与底板有良好的接地效果。安装蒸汽源需要用不锈钢螺钉固定,周围200mm范围内不得有导磁物,否则会影响电子枪的光斑,造成电子性能不好。电子枪的挡板应尽可能安装在蒸发源坩埚中间上方30mm处,以免影响电子束的发射。

  电子枪蒸汽源是精密加工体,工作时需要有良好的冷却水。温度过高会影响电子束的形成和各密封圈的性能。

  (1)电子枪头

  枪头的安装直接影响枪的正常工作。90%的故障与枪头有关。

  枪头使用一段时间后,由于元器件的污染,会影响电子束的形成和功率,需要拆卸清洗。

  (2)坩埚的维护

  拆卸坩埚前,请关闭水回路,用压缩空气将电子枪冷却管内的水吹干净。

  (3)导磁板和扫描环的维护

  光学镀膜机的导板和永磁体不需要经常拆卸和维护。如果需要拆卸,请注意永磁体的极性方向和导板的方向。由于线圈安装空间密集,请不要用尖锐的东西撬,否则会造成损坏。