真空镀膜机常见问题解决

2020-04-22

  当真空镀膜机发生故障时,先要向用户了解故障现象,然后开机观察故障,以便更准确、更快、更合理地解决故障。

  故障解决时,检查低真空是否正常(机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室),低真空正常后开启主泵,主泵正常后检查下室是否正常

  检查空气是否正常,再次打开高真空阀进行高真空检测和检漏,直至达到真空,极限真空,真空保护

  恢复真空,如极限真空和真空保护正常,而恢复真空和真空不正常则可能导致主泵出现问题。

  真空镀膜机常见故障及维修方法如下:

  一、镀膜时真空度突然下降

  1.汽源水回路橡胶圈损坏(更换橡胶圈)

  2.坩埚穿孔(更换坩埚)

  3.高压电极密封损坏(更换橡胶圈)

  4.旋转密封处的橡胶圈损坏(更换橡胶圈)

  5.预阀突然关闭可能导致二位五通阀损坏(更换二位五通阀)

  6.突然关闭高位阀可能导致二位五通阀损坏(更换二位五通阀)

  7.机械泵关闭可能是由于继电器断开(检查继电器是否正常)

  8.烘烤引入线电极密封损坏(更换橡胶圈)

  9.挡板动密封处橡胶圈损坏(更换橡胶圈)

  10.玻璃观察窗开裂爆炸(更换玻璃)

  二、长期以来,真空镀膜机抽真空时间很长,达不到真空、恢复真空、限制真空、保持真空

  1.蒸发室有很多灰尘(要清洗)

  2.扩散泵长时间未换油(应清洗换油)

  3.前泵反向压力过高,机械泵真空度过低(清洗换油)

  4.密封橡胶圈损坏(更换橡胶圈)

  5.由于蒸发室长期高温,各密封胶圈老化(更换胶圈)

  6.蒸发室进水密封处是否有橡胶圈损坏(更换橡胶圈)

  7.各引入座螺丝螺母是否松动(重新压紧)

  8.高低预阀密封是否靠谱(充油)