真空镀膜机应该如何进行采购?

2020-06-10

  真空镀膜机在产品表面处理方面的优点依然明显。与其他表面处理设备相比,涂层机本身的加工需要在真空环境下进行。这种镀膜方法“屏蔽”了一些外部影响因素,这是它机的一个优点。

  真空镀膜机采购要点如下:

  1.炉体可采用不锈钢、碳钢或其组合的双层水冷结构。

  2.根据工艺要求,选择不同规格和类型的镀膜设备,包括电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。

  3.夹具的工作方式有旋转、旋转和旋转+旋转。用户可以根据基板的尺寸和形状提出相应的要求。转速范围及转速精度:一般可调、变频调速等。

  4.真空系统由机械泵、扩散泵、增压油泵、膨胀泵、罗茨泵、坩埚轮分子泵等配套的气动、手动、电动阀门、管道等组成。

  5.根据工艺要求,选择电镀方法和形式,如电阻蒸发(钨丝、钼舟、石墨舟)磁控源(同轴圆柱磁控源、圆柱面磁控源、矩形面磁控源等),真空测量仪表及自动压力控制器等测量仪表可选用目标材料和尺寸的多弧源(直径为?0、直径为?0的靶、气动、引弧等)、数字智能真空表及其较高的品质,薄膜的厚度可以用块电阻计、透射率计等测量。

  6.充液方式可选择质量流量计、转子流量计+针阀及相应的充液阀,可选择多条充液管线及相应的流量参数。

  7.根据烘烤的结构,提出了烘烤温度、材料及相应的仪器。

  8.根据设备特点,可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。

  9.完善的真空镀膜机报警系统,真空室本体、扩散泵缺相、缺水、气压、电力负荷过电压、过电流等异常情况声光报警。