真空镀膜机的工作原理

2022-08-17

  真空镀膜机应用广泛,涉及各行各业,深受大家的喜爱。它的工作原理是什么?以下是真空编辑器的详细介绍,希望能帮助您:

  真空镀膜设备主要是指需要在高真空下进行的镀膜,包括多种,包括多弧离子真空镀膜装置、真空离子蒸发、光学镀膜机、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等。真空镀膜的工作原理是膜体在高温下蒸发并落到工件表面结晶。由于空气会对蒸发的薄膜分子产生阻力,并引起碰撞,使晶体变得粗糙和暗淡,因此在高真空下使晶体致密和明亮。如果真空度不高,晶体将失去光泽,结合力差。早期真空镀膜依赖于蒸发体的自然散射,工作效率低,光泽度差。现在,使用中频磁控溅射靶来加速膜体的蒸发分子,在电场的作用下轰击靶,大量靶原子被飞溅出来。将中性目标原子(或分子)沉积在基底上以形成膜,这解决了过去无法通过自然蒸发处理的膜体问题,如钛镀层和锆镀层。

  从更深层次研究了电子在非均匀电磁场中的运动规律。讨论了磁控溅射的一般原理和磁约束的基本原因。磁控溅射可以被认为是涂层技术中的成就之一。它具有高溅射速率、低衬底温升、良好的膜-衬底结合力和稳定的器件性能。中频设备频率高、电流大。当电流流过导体时,会产生集肤效应,电荷会积聚在导体的表面积内,从而使导体发热。因此,使用中孔管作为导体的中间,以加水冷却。

  冷水可以控制真空镀膜机的温度,以确保镀件的高质量。如果未配置水冷却器,真空镀膜机无法达到高精度的温度控制目的,因为自然水和水塔的冷却不可避免地受到自然温度的影响,这种控制不稳定。

真空镀膜机


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