真空镀膜机漏气检查

2022-06-06

  检查漏气是保障真空镀膜机真空度的一种方法,简称检漏。真空度的高低直接影响涂层效果,因此检漏至关重要。

  通常,真空室中的空气泄漏发生在真空室壁上的小孔或部件前面的接头上。抽气系统抽气时,真空室中的压力会降低,内外压差会使气体从高压的外部流向低压的真空室,导致真空降低。在检漏过程中,为了做好检漏工作,有必要注意一些问题。

  首先,检查空气泄漏是真实的还是虚拟的。由于工件数据在加热后会产生不同程度的气体,可能会被误认为是从外部流出的气体。这称为虚拟泄漏。这种情况应该消除。

  其次,测试真空室的气封功能,确保气封功能符合要求。

  第三,检查泄漏孔的大小、形状、方向和速度,制定并实施可行的解决方案。

  第四,确定检测仪器的检漏率和检漏灵敏度,检查空气泄漏情况,防止部分泄漏被忽视,提高检漏精度。

  五是掌握检漏仪的反应时间和消除时间,抓好时间,确保检漏仪工作到位。时间越短,检漏功能越差,时间越长,检漏气体和人工电就会浪费。

  第六,还要防止泄漏堵塞。有时,由于操作错误,在泄漏检测过程中,一些灰尘或液体会堵塞泄漏,认为该方向没有泄漏。但是,当由于内外压差或其他原因导致泄漏未被堵住时,泄漏仍然存在。做好真空镀膜机的检漏工作非常重要。真空度降低的原因有很多。我们应该逐一解决这些原因,以稳定涂层的作用。

  以上就是真空镀膜机的漏气检查步骤,希望对大家有所帮助!

真空镀膜机