感应蒸发镀膜机的应用

2019-10-22

  感应蒸发镀膜机主要由真空室、排气系统、蒸发系统和电气设备四部分组成。
  感应蒸发镀膜机的应用:
  用于有机半导体材料的物理化学性质实验、有机半导体器件原理实验、有机发光二极管实验和有机太阳能薄膜电池实验。可应用于高校薄膜材料的研究和小批量制备。
  为了提高镀层厚度的均匀性,真空室镀夹采用行星机构或旋转+旋转运动装置。如果采用行星运动方式,该运动方式具有良好的成膜均匀性、良好的台阶覆盖性能和镀件的承载能力。它能合理利用真空镀膜室的空间,这是目前常用的运动方式。

  蒸发的金属和化合物等材料放置在坩埚中或挂在热线上作为蒸发源,待镀的金属、陶瓷、塑料等工件放置在坩埚前。蒸发是通过加热物质使其蒸发到固体表面的过程。电气设备包括真空度和薄膜厚度的测量以及控制台。因此,排气系统不仅需要在短时间内获得低气压,以保障较快的工作循环,而且还需要保障在蒸汽涂层过程中较快清理蒸汽源和工作物体表面产生的气体。为了提高泵速,可以在机械泵和扩散泵之间增加增压泵。蒸发物质的原子或分子。
  感应蒸发镀膜机常用的蒸发源是加热薄膜材料蒸发的装置。真空室是放置和涂覆镀件的地方。不锈钢材质,带水冷装置。在系统被抽到高真空后,坩埚被加热以蒸发其中的物质。蒸发系统包括蒸发源和加热蒸发源的电气设备。
  蒸汽源的结构解决了蒸汽源容易泄漏的问题,大大缩短了抽空时间,提高了真空度,保障了镀铝层的质量。该结构清洗方便,清洗时间缩短一半以上。本机适用于激光镀铝膜、cpp、pet、bopp等印刷薄膜。