真空镀膜机使用的几种办法

2019-11-05

  真空镀膜机的使用是真空系统使用中的一个大分支,在光学、电子学、理化仪器、包装、机械以及外表处理技能等很多方面有着较广的使用。接下来将为您介绍它使用的几种办法。

  真空镀膜机的使用,简单地理解就是在真空环境下,使用蒸镀、溅射以及随后凝聚的办法,在金属、玻璃、陶瓷、半导体以及塑料件等物体上镀上金属薄膜或者是覆盖层。相对于传统镀膜办法,真空镀膜使用归于一种干式镀膜,下面详细介绍一下:

  一、真空卷绕镀膜。真空卷绕镀膜是一种使用物理气相堆积的办法在柔性基体上连续镀膜的技能,以完成柔性基体的一些功能性、装饰性属性。

  二、溅射镀膜。溅射镀膜是真空条件下,在阴极接上高压电,激发辉光放电,带正电的氩离子碰击阴极,使其射出原子,溅射出的原子经过慵懒气体堆积到基片上构成膜层。

  三、离子镀膜。它是在上面两种真空镀膜技能基础上发展而来的,因而兼有两者的工艺特点。在真空条件下,使用气体放电使作业气体或被蒸腾物质(膜材)部别离化,并在离子轰击下,将蒸腾物或其反响物堆积在基片外表。在膜的构成过程中,基片一直遭到能量较高的粒子轰击,比较干净。

  上述三种都归于物理气相堆积技能使用(PVD)。

  接下来是化学气相堆积(CVD)。它是以化学反响的办法制造薄膜,原理是在设定的温度下,将含有制膜资料的反响气体通到基片上并被吸附,在基片上进行化学反应构成核,随后反响生成物脱离基片外表不断分散构成薄膜。束流堆积镀,结合了离子注入与气相堆积镀膜技能的离子外表复合处理技能,是一种使用离化的粒子作为蒸镀资料,在比较低的基片温度下,构成优良薄膜的技能。