真空镀膜机的组成和工作原理

2020-01-15

  真空镀膜机是目前应用较广的制造真空条件的真空设备。一般由真空室、真空单元和电气控制柜组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷井+聚氯乙烯”组成。下面详细介绍一下其组成和工作原理。

  一、真空室的主体根据加工产品的要求不同,实际腔体的尺寸也不同。目前使用较多的是直径分别为1.3m、0.9m、1.5m和1.8m。腔体由不锈钢“target=_blank>材料制成,要求无锈且坚牢。真空室的每个部分都有一个连接阀来连接每个空气泵。

  二、辅助抽气系统:排气系统是涂布机真空系统的重要组成部分,主要由机械泵、增压泵(主要是罗茨泵)和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷井+聚氯乙烯”组成。排气流量如下:机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2Pa的低真空状态,为扩散泵后续抽真空提供了前提条件。然后当扩散泵抽到实腔时,将机械泵与油扩散泵组合成一个系列,从而完成泵的气动操作。

  机械泵:又称前级泵,机械泵是真空镀膜机应用较多的低真空泵。它利用油保持密封成效,依靠机械方法不断改变泵内吸入腔的体积,使泵内气体体积不断膨胀,获得真空。

  1、械泵的分类:机械泵有多种类型,常用的有四种类型:滑阀式(主要用于大型设备)、活塞往复式、固定板式和旋转板式(这是目前应用较广的,本文主要介绍)。

  2、机械泵从空气中启动。其主要参数包括极限真空度和泵速,是机械泵设计和选型的重要依据。单级泵可将容器从空气中抽至极限真空1.0*10-1pa,双级机械泵可将容器抽至6.7*10-2Pa。抽气率是指叶片泵按额定转速运转时,单位时间内可排出的空气量。计算公式如下:sth=2nvs=2nfslfs表示吸气端空腔的截面积,l表示空腔的长度,系数表示转子每转次有两个排气过程,vs表示转子处于水平位置时吸气端,而此时在腔体中的产品大,转速为n。机械泵的排气成效还与电机转速和皮带松紧度有关。当电机皮带松脱,电机转速很低时,机械泵的排气成效也会变差。因此,需要定期维护和抽查。机械泵油的密封成效也需要经常抽查。油太少,达不到密封成效。泵内空气会泄漏,油太多,堵塞吸入孔,不能吸入和排出,一般在油位线以下0.5cm处。

  3、械泵常用于抽干空气,但不能抽出含氧量高、腐蚀性较强的气体。机械泵一般用来抽干燥空气,但对水煤气没有好的成效,不能抽出水煤气。旋转叶片泵的主要部件是定子、转子、弹片等,转子在定子中,但与定子主轴不同,有两个内圆。转子槽内装有两个弹片,弹簧安装在两个弹片中间,保障弹片与定子内壁紧密连接。

  介绍到这里,你有没有对真空镀膜机的了解加深了一些呢。