光学镀膜机维护与保养(上)

2020-02-12

  光学镀膜机主要由真空镀膜机室、真空抽气机组及电柜(控制电柜、电子枪电柜)组成,其应用于微电子、光学成膜、民用装饰、表面工程等领域。光学镀膜设备工作原理是在高真空状态下、利用电子束对金属或非金属材料加热到适当的温度,材料受热后蒸发成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸发源至被蒸发基片距离大,蒸发出来的蒸汽分子向四处直射,碰到基片就沉积在基片表面形成膜层。

  光学镀膜机维护与保养主要包换电子枪安装与维护、光路的检修与维护、设备的清洗与保养。

  一、电子枪安装与维护

  电子枪蒸发源控制系统是由电子枪灯丝电源、高压电源、扫描电源、坩埚驱动电源、蒸发源等组成一个电子枪控制电柜。

  电子枪控制电柜内含有高压,在工作前保障柜门各个联锁装置正常工作,非有经验人员不得打开电柜门,电子枪在工作时不得打开电柜门,整个电柜有良好的接地并与机台接地连接。

  电子枪蒸发源安装在真空室底板上,与底板有良好的接地成效,安装蒸发源使用不锈钢螺丝来固定,周边200mm以内不得有导磁的物体,否则会影响到电子枪的光斑成表,造成电子性能的不好。电子枪档板应尽量装在蒸发源坩埚的中间上30mm处,以不影响电子束的发射为好。

  电子枪蒸发源是一个精密机械加工体,在工作时保障有良好的冷却水,如过高的温度会影响电子束的成型及各密封圈的性能。

  (一)电子枪头

  电子枪的枪头安装好坏直接影响到工作的正常进行,其发生的故障有90%同电子枪枪头有关。

  电子枪枪头有使用一段时间后,会因为组件的污染而影响电子束的成型及功率,需要拆卸清洁。

  (二)坩埚的维护

  拆坩埚之前,请先关掉水路用压缩空气把电子枪冷却管内的水分尽可能吹干净。

  蒸发源装卸顺序:

  1.拆落两条冷却水连接管。2.拧出电子枪枪头连接高压线两个螺丝。3.拆坩埚传动连接座、联轴器。4.拧落蒸发源四个固定螺丝。5.把蒸发源搬运到一个稳定平整的工作台。6.拆落坩埚盖板四个螺丝,取下盖板打磨干净。7.检查盖板上面两个密封圈是否需要更换。8.把蒸发源反转过来倒置,用木板垫住坩埚部分。9.拧下固定坩埚转动四个螺丝10.抬起蒸发源,取下坩埚 11.把坩埚倒置,拧下坩埚底盖的八个螺丝,清洗干净里面的污垢,检查是否需要近密封圈。12.拧下导水管的一个螺丝13.拧下坩埚转动机构与坩埚盖板连接的四个螺丝 14.拨出坩埚转动轴,检查转动轴的油封是否需要换件 15.把坩埚清洁干净安装。安装按上面的倒过顺序来进行。

  (三)导磁板及扫描圈的维护

  导磁板及永磁铁是不需要经常拆卸维护,如需拆卸,请注意永磁铁的极向,及导磁板的方向。线圈由于安装的空间密实,请不要使用硬尖的东西撬动,否则有可能会造成损坏。

  二、光学镀膜机光路的检修与维护

  光路调整的先决条件是:直流稳定电源、调制光源头、光纤、光栅单色仪、光电转换放大器、光学膜厚仪及各电缆的完好和正确接入。光电转换放大器、光学膜厚测量仪的接地点,单独归至主机接点牢接地。