真空镀膜机设备有哪些分类?

2020-04-15

  真空镀膜机主要是指需要在高真空下进行的镀膜,包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、分子束外延镀膜机和PLD激光溅射镀膜机。主要分为蒸发和溅射。

  在真空镀膜设备中,需要镀膜的材料成为基体,被镀膜的材料成为靶材。衬底和靶位于同一真空腔中。蒸发镀膜一般是将靶材加热,使表面成分以原子团或离子的形式蒸发,并沉淀在基底表面,通过成膜过程形成薄膜。

  对于溅射型镀膜,真空镀膜机可以简单地理解为用电子或激光轰击靶材,以原子团或离子的形式轰击靶材表面,后来沉积在衬底表面,经过成膜过程,后来形成薄膜。炉体可采用不锈钢、碳钢或其组合的双层水冷结构。

  根据工艺要求,选择了不同规格和类型的镀膜设备,包括电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备设备,空心阴极离子镀和多弧离子镀。夹具的工作方式有旋转、旋转和旋转+旋转。用户可以根据芯片的尺寸和形状提出相应的要求。转速范围及精度:一般可调、变频调速等。

  不同类型真空镀膜机的适用范围

  1.磁控溅射镀膜设备:用于信息存储领域,如磁信息存储、磁光信息存储等

  2.磁控溅射镀膜机:用于航空发动机叶片、汽车钢板、散热器等防护涂层

  3.磁控溅射铝膜生产线:应用于太阳能利用领域,如太阳能集热器、太阳能电池等

  4.光学镀膜设备:用于光学薄膜领域,如减反射膜、高反射膜、截止滤光片、防伪膜等

  5.AZO透明导电薄膜磁控溅射镀膜生产线:应用于液晶显示器、等离子屏等信息显示领域

  6.触摸屏连续镀膜生产线:应用于触摸屏领域,如手机、电脑、MP4等数码产品屏幕。

  7.磁控中频多弧离子镀膜设备:用于硬质镀膜,如刀具、模具、耐磨、耐腐蚀零件等。

  8.PECVD磁控生产线:用于集成电路制造,如薄膜电阻、薄膜电容、薄膜温度传感器等。

  9.蒸发式真空镀膜设备:适用于手机外壳、手表外壳、眼镜框、五金、饰品等装饰附件。

  10.低辐射玻璃镀膜生产线:用于建筑玻璃,如太阳能控制膜、低辐射玻璃、防雾防露、自洁玻璃等。

  11.防反射导电薄膜连续磁控溅射生产线:应用于液晶、液晶电视、MP4、汽车显示器、手机显示器、数码相机、掌上电脑等电子产品领域。