真空镀膜机的各部件原理介绍

2020-05-20

  真空镀膜机真空腔:根据加工产品要求的不同,真空腔的尺寸也不同。目前,它有很多应用,如0.9m、1.3m、1.5m、1.8m等。腔体由不锈钢制成,要求无锈、结实。真空腔的每个部分都有一个连接阀来连接每个泵。

  辅助抽气系统:排气系统是镀膜真空系统的重要组成部分,包括机械泵、增压泵/罗茨泵和扩散泵。排气系统为:扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷井+聚氯乙烯。排气流量:机械泵先将真空室抽至低于2.0*10-2Pa的低真空状态,为扩散泵后续抽真空提供前提条件。然后在扩散泵抽真空时,将机械泵与油扩散泵组合成串联,从而完成泵送动作。

  真空镀膜机的机械原理及分类:

  机械泵:又称前置泵,机械泵是一种应用较广的低真空泵。它利用油保持密封效果,依靠机械方法不断改变泵内吸入腔的体积,使泵内气体体积不断膨胀,获得真空。

  1.机械泵的分类:机械泵有很多种,常用的有:滑阀式(主要用于大型设备)、活塞往复式、固定板式和旋转板式

  2.机械泵从大气中启动。其主要参数包括极限真空度和抽速。这是机械泵设计和选型的重要依据。单级泵可将容器从大气中抽至极限真空1.0*10-1pa,双级泵可将容器从大气中抽至6.7*10-2Pa,甚至更高。抽气率是指叶片泵在额定转速下工作时单位时间内可排出的空气量。计算公式为:sth=2nvs=2nfslfs为吸气端空腔截面积,l为空腔长度,系数为转子每转两次排气过程,vs为转子处于水平位置时吸气端,当腔体体积较大,转数为n时,机械泵的排气效果也与电机的转速和皮带的松紧度有关。当电机皮带松脱,电机转速很慢时,机械泵的排气效果也会变差。因此,需要定期维护和抽查。机械泵的密封效果也需要定期抽查。从过小到达不到密封效果,泵内会出现漏风和过多的油液,堵塞吸入孔,没有办法吸入和排出,一般在油位线以下0.5cm处。

  3.真空镀膜机泵常用于抽干空气,但不能抽出含氧量高、爆炸、腐蚀性大的气体。机械泵一般用于长期抽气,但对水煤气没有较好的作用,不能抽出水煤气。旋转叶片泵的主体是定子等,转子在定子内,但与定子主轴不同,转子槽内有两个内切圆,转子槽内装有两片弹片,两片弹片中间装有弹簧,以保持弹片与定子内壁紧密连接定子。