真空镀膜机的采购要点分析

2020-12-26

  真空镀膜机在产品表面处理方面有较大的优点。与其他表面处理设备相比,这种涂布机的加工需要在真空环境下进行。这种镀膜方法可以“屏蔽”一些外界因素,这是这种镀膜机的优点之一。

  对于镀膜机来说,目前电路的发展也比较快,很多电子产品也被应用在电路中,这也使得这些机器逐渐发展成为电气化、自动化的设备。

  真空镀膜机设备采购要点如下:

  1.炉体可用不锈钢、碳钢或其组合材料制成。

  2.根据工艺要求,选择不同规格和型号的镀膜设备,包括电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。

  3.夹具操作有旋转、旋转和旋转+旋转模式。用户可根据基板的尺寸和形状提出相应的要求。转速范围及精度:普通可调和变频调速。

  4.真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、膨胀泵、罗茨泵、坩埚轮分子泵等及各配套的气动、手动、电动阀门、管路等组成。

  5.根据工艺要求,选择电镀方法和形式,如电阻蒸发(钨丝、钼舟、石墨舟)磁控管源(同轴圆柱形磁控管源、圆柱形平面磁控管源、矩形平面磁控管源等)、靶材和多弧源尺寸(Ф60、Ф80直径靶、气动、电弧启动等),真空测量可选用数字式智能真空计及其高质量的测量规程,以及其他测量仪器,如自动压力控制器等。薄膜厚度可由平方电阻计、透射率计等测量。

  6.充注方式可选择质量流量计、转子流量计+针阀及相应的充注阀,并可选择多通道充注管路及相应的流量参数。

  7.根据烘烤结构,提出了烘烤温度、物料及相应的设备。

  8.根据设备特点,可选择手动、半自动、全自动或它们的组合控制方式。

  9.对真空镀膜机的本体、扩散泵缺相、缺水、气压、电力负荷过电压、过流等异常情况提供声光报警。