真空镀膜机各部分的组成和工作原理

2021-07-22

  真空镀膜机,镀膜机是真空条件下应用比较广的设备。其相关零部件有:机械泵、增压泵 、油扩散泵、凝结水泵、真空测量系统

  下面详细介绍各部分的组成和工作原理。

  1、 真空体——真空室

  根据我们产品的不同要求,真腔尺寸也不同。目前应用比较广的是直径1.3m、0.9m、1.5m和 1.8m。型腔采用不锈钢,要求不生锈,坚固。真空腔的每个部分都有一个连接阀,用于连接 泵。

  2、 辅助空气抽取系统

  排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成

  排气过程如下:机械泵先将真空室抽至小于2.0*10-2Pa的低真空状态,为扩散泵的后续抽真 空提供前提。然后,扩散泵抽真空室时,机械泵与油扩散泵串联,从而完成抽真空动作。

  排气系统是真空镀膜机系统的重要组成部分,主要由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)和 油扩散泵组成。

  机械泵:又称前置泵,是机械泵中应用比较广的低真空泵。它利用油保持密封效果,并通过 机械方法不断改变泵内吸入腔的容积,使被泵容器内的气体容积不断膨胀,以获得真空。

  机械泵有很多种,常用的有滑阀式(这主要用于大型设备)、活塞往复式、固定件式和旋转 件式(这是应用比较广的,本文主要介绍)四种类型。

  机械泵常用于去除干燥空气,但不能去除高含氧量、爆炸性和腐蚀性气体。机械泵一般用于 脱除永久性气体,但对水煤气效果不好,不能脱除水煤气。叶片泵的主要部件有定子、转子 、弹片等,转子在定子内,但与定子主轴不同,像两个内接圆。在转子槽中安装有两个弹片 ,弹簧安装在两个弹片的中间,以保持弹片紧密地附着在定子的内壁上。

  以上就是关于真空镀膜机的组成的介绍,希望对您有一些帮助,还想要了解其他的消息可以 咨询我们,我们将竭诚为您服务。